ОСОБЕННОСТИ КРЕМНИЯ С НАНОКЛАСТЕРАМИ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ МАРГАНЦА

Abstract

Введение. Электрофизические, фотоэлектрические и магнитные свойства кремния с нанокластерами примесных атомов марганца были исследованы авторами [1-5]. В работах [6,7] исследовалось влияние примесных атомов марганца на электрофизические и фотоэлектрические свойства исходного кремния. Легирование примесными атомами марганца проводилась методом диффузии с учетом термодинамических условий, чтобы примесные атомы марганца образовывали нанокластеры в кристаллической решетке кремния.